全球高亮度LED市场：日本居首 中国仅占2%    (4)

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      MOCVD市场激增 

        MOCVD已出现连续6个季度的增长，不过2011年将会平稳发展。尽管如此，2011年-2012年仍可能会出现供应过剩情况。2010年， MOCVD全球出货量为786台，其中中国大陆占34%，韩国为31%，台湾占27%。而2009年上述数字分别为13%、40%和35%。只有中国大陆暴增，而韩国和台湾则大幅下滑，且韩国在2011年的投资意愿将不再像前几年那样狂热，这似乎表明MOCVD市场重心将从韩国转向中国大陆。

　　英国IMS研究机构的台湾地区显示与LED部总监徐玉娟表示，中国的MOCVD刺激计划使更多厂商进入了这个领域，韩国与台湾也在大陆积极建立产能。自2010年第三季度起，中国在MOCVD安装方面首次领先，且2011年将继续保持这一趋势。

　　由于中国大陆的MOCVD主要集中在2英寸晶圆，这曾使2英寸蓝宝石的供应在2010年出现吃紧局面，价格上升了50%。

　　不过，Veeco大中华区总裁王克扬表示，随着青岛嘉星晶电、江苏协鑫光电科技、欧亚蓝宝光电、浙江水晶光电、天通、哈工大光电、重庆四联、云南蓝晶和贵阳工投等大陆厂商蓝宝石底板的投产，之前一直困扰业界的蓝宝石缺货问题已基本解决。

　　王克扬指出，一旦通用照明市场需求起来后，4英寸蓝宝石底板的采用率就会加速，可能会从目前的27%增长到50%左右。

　　但业内人士对通用照明市场出现快速发展的时间看法有所分歧，有人认为2012年就会出现，而另一部分人认为，至少要到2015年才能看到这种情况。

        MOCVD反应腔设计

　　MOCVD反应腔的设计对薄膜厚度一致性和材料质量非常关键。理论上，所有MOCVD的加工都采用沉积模式，但涂层一定要保证加工的稳定性。

　　间距决定着腔体体积和表面积，间距控制不好会引起颗粒问题，并造成钼元素的浪费。虽然窄间距可以使气体更好地分配并减少钼的消耗，但会使喷头频繁出现堵塞；而宽间距虽然使用较多的钼，但可以保证加工的稳定性，并避免出现颗粒问题。

　　良好的MOCVD反应腔设计要保证供气的均匀性；加热问题；减少预反应；不能有腔体残留未反应的现象。

　　另外，王克扬表示，托盘优化和温控改进可增加机台产能（见图6）。为了有效控制外延成本，高产能的MOCVD需要多功能的生产方式。在Veeco制造的生产高亮度LED所用的MaxBright氮化镓MOCVD多反应器系统中，MaxBright将多个高流量MOCVD反应器运用到模块化的2个或4个群反应器中，实现 FlowFlange和自动化技术。其优势是，比标准K465i的产量高25%，具有很好的一致性、可重复性和材料质量。

图6：托盘优化和温控改进可增加机台产能

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